Halbleiterindustrie

Der Herstellungsprozess von Halbleitern ist äuβerst aggressiv und erfordert die bestmögliche Auswahl von Dichtungsmaterialien mit der längsten Lebensdauer in  Kombination mit der geringsten Verschmutzung, um die höchste Effizienz und einen maximalen Ertrag zu garantieren.
Europe Seals liefert O-Ringe und Gummi-Formteile (z.B. Türdichtungen) für unterschiedliche Produkte:

• Öfen
• Pumpen und Ventile
• Produkt-Verfahren
• Aurüstung für Prozessautomatisierung

Mögliche Abdichtungsmaterialien für verschiedene Schritte im Herstellungsprozess von Halbleitern:

Wafer Vorbereitung (Kristallzüchtung)

• Silikon (High Temp)
• FEP silikonummantelt
• *Perfluor (schwarz oder weiß)
• FPM (schwarz oder weiß)
• PTFE

Thermische Prozesse LPCVD und Oxidation

• Silikon (High Temp)
• FEP silikonummantelt
• Perfluor (schwarz oder weiß)
• FPM (schwarz oder weiß)
• PTFE

EPI (Epitaxisches Silicium)

• Silikon (High Temp)
• FEP silikonummantelt
• Perfluor (schwarz oder weiß)
• FPM (schwarz oder weiß)
• PTFE

CVD (Chemische Gasphasenabscheidung)

• Perfluor (schwarz oder weiß)
• FPM (schwarz oder weiß)

PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung)

• Perfluor (schwarz oder weiß)
• FPM (schwarz oder weiß)

Fotolithografie

• Perfluor (transparent) (siehe Foto)
• FPM (schwarz oder weiß)
• EPDM (peroxidisch vernetzt)

Nassätzung

• FPM
• Perfluor (transparent oder schwarz)
• FEP ummantelt (FPM oder Silikon)
• PTFE

Plasmaätzen

• Perfluor (weiß oder transparent)
• FPM weiß

Strippen

• Perfluor (transparent oder schwarz)
• FPM
• Aflas^®
• EPDM (peroxidisch vernetzt)
• FEP ummantelt (FPM oder Silikon)
• PTFE

Plasmaveraschung

• Perfluor (weiß oder transparent)
• Silikon (VMQ)
• FPM
• Fluorsilikon (FVMQ)

Werkstoff-Dateien zum Herunterladen (PDF-Dateien)
Material datasheets fo
Perfluor schwarz (PDF)
Perfluor weiß (PDF)
Perfluor transparent (PDF)

*Bemerkung: all unsere Perfluor-Materialien sind "clean room“ hergestellt und verpackt.